气体质量流量计MFM

上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
流量规格（N2）：
(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
准确度：
±1%F.S.
线性：
±0.5%F.S.
重复精度：
±0.2%F.S.
响应时间：
≤1Sec
工作压差范围：
(0.05~0.3)MPa
较大耐压：
10MPa
工作环境温度：
5~65℃
电气连接：
8 Pin（Mini S Plug）
输入/输出信号
Digital：RS232/RS485；
Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源：
7~16VDC 1A；或24VDC500mA
标准接头：
Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…；
VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸
130*28*121mm
重量约
1.0kg