气体质量流量计MFM/MFC

□ 气体质量流量计MFM/气体质量流量控制器MFC工作原理
气体质量流量计MFM由传感器、分流器、主通道及电路板等构成，用于测量洁净气体流量。
气体质量控制器MFC除了具有与MFM类似的各个部件外，还有一个流量调节阀及PID控制电路，它不但可以测量气体流量，还可以控制气体流量。
气体通过质量流量控制器（质量流量计）时，大部分气体通过分流器，小部分气体流过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理直接测量气体的质量流量，并将流量传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器进行线性化处理，输出与瞬时流量成正比的电压信号0-5VDC。放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将比较后的差值电压放大后去驱动控制阀门，PID闭环控制，使流过通道的气体流量与设定的气体流量相等。
□ D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表(可定做分体式耐高温100℃的气体质量流量计/控制器)
D500系列气体质量流量计/气体质量流量控制器由气体质量流量传感器（气体质量流量控制器还包括电磁调节阀）、信号线电源线、气体质量流量显示仪（气体质量流量显示控制仪）等构成。
□ D600系列数字式一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器参数表
D600系列一体型气体质量流量计/气体质量流量控制器是我公司较新推出的数字化流量计产品。它采用单电源供电(6~16VDC或24VDC)，一体化液晶显示瞬时流量、累积流量，对于气体质量流量控制器，更是集成了电磁调节阀，可以直接在液晶面板上设定控制瞬时流量，也可以直接连电脑显示控制；数字，模拟输入输出；具有多气体多量程，高精度等特点。
□ 气体质量流量计/气体质量流量控制器注意事项
1、气体质量流量计/气体质量流量控制器在出厂前均根究用户要求调整好，用户不得随意自行调整。
2、使用气体必须净化，切忌粉尘、液体和油污。必要时，须在气路中加装过滤器等。如果气体质量流量计/气体质量流量控制器出口接有液体源瓶，应在气体质量流量计/气体质量流量控制器出口安装单向阀，防止液体回流损坏气体质量流量计/气体质量流量控制器。
3、气体质量流量计/气体质量流量控制器通道采用的材料为：SUS316L不锈钢, 聚四氟乙烯，氟橡胶等耐蚀材料。在用户系统无水汽、低泄漏、勤清洗、使用得当的条件下，可以用于控制一般的腐蚀性气体。使用强腐蚀性气体和**溶剂气体时，应在定货时声明。使用特殊腐蚀性气体，所有密封材料都要作相应改变。
4、气体质量流量计/气体质量流量控制器安装时较好保持安装面水平，但对位置并不特别敏感，可以任意位置安装，非水平位安装时若发现零点偏移，可调整零点后再工作。如果用户订货时注明安装位置，我公司也可根据用户的安装位置进行标定后出厂。
5、对于气体质量流量控制器要注意工作压差，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。
6、气体质量流量控制器电磁调节阀并不能当做气路截止阀使用，一般情况下用户应在控制器进气口前安装电磁（手动）截止阀。（有必要时在气体质量流量控制器前后都应加装）
7、气体质量流量控制器在阀控操作为“清洗”后不能直接转为“阀控”状态，应先切换至“关闭”状态。